摘要
本申请提供的针对热发泡喷墨芯片释放压点积累电荷的方法,其在需要进行金线键合的待处理PAD附近放置一些虚拟的接地PAD,形成钝化层和INL铝层对地的放电通路;因为待处理PAD和虚拟PAD的距离足够近,由于电荷会沿着钝化层表面移动,随着小虚拟PAD不断抽取钝化层中积累的电荷,前期积累在需要键合大PAD上的INL表面过量电荷也被抽取到虚拟PAD上,然后通过接地电路释放;保证了金线键合大PAD上的INL表面不会积累太多的电荷,当芯片进行EKC深槽清洗时,由于该处INL表面不存在过量电荷,就不会和EKC清洗液发生化学反应导致INL铝层表面被异常侵蚀。
技术关键词
喷墨芯片
开窗区域
P型衬底
保护环
清洗液
布线
直线
电路
尺寸