摘要
本发明涉及一种多引脚芯片电容测试装置和系统。本发明的多引脚芯片电容测试装置,包括:若干个继电器模块和驱动器;每个所述继电器模块,第一端用于连接待测试芯片电容的一对待测试引脚,第二端用于连接LCR仪表的输入端;所述驱动器,在测试指定的目标待测试引脚时,控制所述目标待测试引脚对应的继电器模块闭合,并控制其他待测试引脚对应的继电器模块断开。本发明通过控制继电器模块的通断切换待测试引脚,相对于现有的基于移动滑台的切换引脚方式切换速度更快、操作更方便、控制难度更低、测试效率更高。
技术关键词
电容测试装置
继电器模块
芯片
仪表
继电器板
BNC同轴连接器
驱动器
探针卡
安装平台
电容测试系统
引脚方式
信号传输线
控制继电器
伺服电机
输入端
滑块
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