一种芯片装置的制备方法及成膜方法

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正文
推荐专利
一种芯片装置的制备方法及成膜方法
申请号:CN202411450518
申请日期:2024-10-17
公开号:CN119259135B
公开日期:2025-11-04
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片技术领域,具体涉及一种芯片装置的制备方法及成膜方法。所述制备方法包括:提供一种基底层,所述基底层具有一表面,且所述表面上形成有多个微孔结构,所述微孔结构包括:第二层微孔、第一层微孔;向微孔结构内加入第一电解液,所述第一电解液填充所述第一层微孔;向微孔结构内加入膜溶液,所述膜溶液聚合并填充在所述第一电解液与所述第一层微孔之间的间隙;向微孔结构内加入粘性保护液,所述粘性保护液填充所述第二层微孔,最终所述粘性保护液、所述膜溶液和所述第一电解液在所述微孔结构内形成稳定的夹心层结构。所述第一电解液、膜溶液和粘性保护液的量均通过离心来精准控制,从而保证最终所成膜的一致性。
技术关键词
芯片装置 保护液 夹心层结构 成膜方法 基底层 溶液 聚乙烯吡咯烷酮 甲基丙烯酰化明胶 高分子化合物 流道结构 凝胶电解液 清洗液 两亲性 台阶 水溶性 透明质酸 磷脂 聚丙烯酸
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