单晶硅直拉法中提高算法鲁棒性的优化方法、装置、设备和存储介质

本发明提供一种单晶硅直拉法中提高算法鲁棒性的优化方法、装置、设备和存储介质；所述优化方法包括针对单晶硅直拉法每一棒次，获取炉台调温阶段工艺参数的相关数据并进行处理，得到调温阶段工艺参数数据集；构造感知模型，对调温阶段工艺参数数据集中每一棒次工艺参数的数据进行拟合，得到关键拟合系数结果集；对关键拟合系数结果集进行聚类，得到关键拟合系数结果集的整体边界；构造其它工艺算法输出变量与感知模型之间的映射模型；在新一棒次调温阶段开始后前期设定时段结束后，利用感知模型获取两个关键拟合系数的组合，判断该组合是否在整体边界内，若否则调整工艺参数，若是，则将映射模型融入到原有的其它工艺算法中；能够提到算法鲁棒性。