摘要
本申请提供的OCT测量系统及测量方法,包括光源单元、参考臂光路单元、样品臂光路单元、光谱仪、预览相机及计算机,所述光源单元包括光源、光纤环形器及耦合器;所述参考臂光路单元包括第一准直器及反射镜;所述样品臂光路单元包括第二准直器扫描振镜、二向色镜、扫描透镜及样品台,本申请通过精确控制扫描振镜的扫描路径,实现光路方向的灵活调整,使光点能够在样本表面进行二维扫描,由于在扫描振镜与扫描透镜之间叠加一个长波通二向色镜,使预览相机的光路与OCT光路实现同轴,简化了系统结构,避免了预览相机视场受扫描振镜运动的限制,提高了测量的灵活性与测量效率。
技术关键词
预览相机
扫描振镜
样品台
光纤环形器
准直器
二向色镜
光谱仪
后向散射光
光源单元
计算机
反射镜
耦合器
样本
透镜
辐射发光二极管
测量方法
3D点云数据
棋盘格标定板
图像重建算法