一种芯片腐蚀实时监测方法

本发明公开了一种芯片腐蚀实时监测方法，属于微纳制备技术领域，主要涉及针对微纳芯片腐蚀实时自动化监测的问题。该方法通过自动化系统对芯片的腐蚀过程进行实时监测与控制，由上位机、图像采集装置、液体处理单元和下位机控制器等硬件组成，包括连接图像采集装置与上位机，实时捕获显微图像，上位机通过串口向下位机发送指令，执行液体处理单元的运动操作，上位机实时监测腐蚀过程并做出相应处理，当达到设定的腐蚀时间后，系统自动停止腐蚀并开始执行清洗操作，清洗完成后，上位机接收下位机反馈，确认腐蚀和清洗流程已结束，使用保护罩保护系统。本发明实施例1的芯片腐蚀实时监测方法，不仅提高了腐蚀监测的自动化程度，还确保了芯片处理的精度与效率。