超高真空样品托和样品测试方法
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超高真空样品托和样品测试方法
申请号:
CN202411460542
申请日期:
2024-10-18
公开号:
CN119394737A
公开日期:
2025-02-07
类型:
发明专利
摘要
本申请提供了一种超高真空样品托和样品测试方法。该超高真空样品托包括连接件、第一托板、第二托板,第一托板与连接件连接,第二托板与连接件转动连接,且第二托板可转动至与第一托板叠合。该超高真空样品托可以实现在不更换样品的情况下,快速进行表面修饰和性能测试,大大节省了实验时间和成本,避免真空环境受到破坏。
技术关键词
超高真空
样品测试方法
样品托
托板
机械臂
表面修饰
卡槽
沪ICP备2023015588号