摘要
本发明提供了用于DFB激光器芯片的表面结构质量检测方法及系统,涉及图像处理技术领域,包括:根据工业相机,对DFB激光器芯片进行全面扫描,获得芯片全景图像;根据芯片图像增强函数进行增强处理,获得DFB激光器芯片图像;进行分水岭特征分割,获得多个芯片区域图像;根据芯片表面结构质量检测因子进行期望偏离检测学习,搭建芯片表面质量偏离检测通道;分别对多个芯片区域图像进行表面结构质量分析,获得多个芯片区域表面质量系数;绘制DFB激光器芯片表面检测云图。本发明解决了现有技术的芯片质量检测方法通常依赖简单的图像处理算法,仅能够从宏观角度进行分析,对芯片表面缺陷的识别能力有限,导致检测精度低的技术问题。
技术关键词
DFB激光器
芯片表面结构
微结构特征
芯片微结构
激光器芯片
表面纹理特征
通道
工业相机
因子
图像增强系数
芯片表面缺陷
扫描模块
图像处理算法
分析模块