用于DFB激光器芯片的表面结构质量检测方法及系统

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用于DFB激光器芯片的表面结构质量检测方法及系统
申请号:CN202411461301
申请日期:2024-10-18
公开号:CN118967695B
公开日期:2025-06-13
类型:发明专利
摘要
本发明提供了用于DFB激光器芯片的表面结构质量检测方法及系统,涉及图像处理技术领域,包括:根据工业相机,对DFB激光器芯片进行全面扫描,获得芯片全景图像;根据芯片图像增强函数进行增强处理,获得DFB激光器芯片图像;进行分水岭特征分割,获得多个芯片区域图像;根据芯片表面结构质量检测因子进行期望偏离检测学习,搭建芯片表面质量偏离检测通道;分别对多个芯片区域图像进行表面结构质量分析,获得多个芯片区域表面质量系数;绘制DFB激光器芯片表面检测云图。本发明解决了现有技术的芯片质量检测方法通常依赖简单的图像处理算法,仅能够从宏观角度进行分析,对芯片表面缺陷的识别能力有限,导致检测精度低的技术问题。
技术关键词
DFB激光器 芯片表面结构 微结构特征 芯片微结构 激光器芯片 表面纹理特征 通道 工业相机 因子 图像增强系数 芯片表面缺陷 扫描模块 图像处理算法 分析模块
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