基于超表面结构的短波红外高光谱探测器及设计方法

本发明一种基于超表面结构的短波红外高光谱探测器的设计方法，属于微纳器件技术领域；方法步骤包括：选择超表面的衬底和调控材料；构建短波红外超表面透射率数据库；采用最低相关性采样方法在所述短波红外超表面透射率数据库中选取最优超表面阵列；对所选取的最优超表面阵列进行精细加工误差分析；设计对齐标记位，进行统一贴片封装；对封装完成的器件进行光谱标定，数据采集，再根据获得数据进行计算光谱重构，最终获取高空间和高光谱分辨率短波红外光谱信息，完成基于超表面结构集成型短波红外高光谱探测器件设计。本发明通过改进超表面阵列优化流程，筛选出最低相关性超表面结构，以提高成像质量。