一种基于物联网的半导体自动化安全控制系统及方法

本发明公开了一种基于物联网的半导体自动化安全控制系统及方法，涉及半导体自动化控制技术领域，获取各生产设备在生产过程中，运行参数出现波动的规律，获取某个半导体元器件在第二元件后的进行检测记录，根据生产设备的运行参数的波动次数，计算所述某个半导体元器件在各生产工序的加工指标，对完成第一工序加工的半导体元器件进行筛选，组成半导体元器件序列，获取第二工序对所述半导体元器件序列加工的预估时间段，获取预估时间段中生产设备运行参数的预估值和波动次数的预估值，并通过运行记录中运行参数波动次数与波动规律中运行参数波动次数的差异，对波动次数的预估值进行修正。