一种电迁移加速寿命试验评估方法和计算机设备

本发明公开了一种电迁移加速寿命试验评估方法和计算机设备，所述方法包括：确定多组加速寿命试验条件，所述加速寿命试验条件包括温度、电流密度、正反向电流时间占比；基于所确定的多组加速寿命试验条件实施互连结构的加速寿命试验，得到多组加速寿命试验条件下的寿命数据以及互连结构的温升数据；基于Black方程建立寿命预测模型；基于寿命数据分别拟合得到电流影响指数、激活能和损伤恢复系数；将得到的参数代入寿命预测模型，获得完整的寿命预测模型，基于完整的寿命预测模型对互连结构实际工作条件下的电迁移寿命进行预测。本发明能够解决现有的电迁移性能评价模式与实际应用不匹配的问题，有效支撑互连结构的筛选、鉴定以及可靠性评价等工作。