一种热电晶体管发电器件的制备方法

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一种热电晶体管发电器件的制备方法
申请号:CN202411466979
申请日期:2024-10-21
公开号:CN119343039A
公开日期:2025-01-21
类型:发明专利
摘要
本发明涉及热电转换、半导体器件技术领域,具体公开一种双极结型热电晶体管发电器件的制备方法。具体技术方案为:采用液相外延技术,以氢气、惰性气体或氢气和惰性气体的混合物作为保护气体,用掩膜板技术在衬底上隐蔽以及外延生长P型和N型热电薄膜,用物理沉积技术制备电极材料,最后制备出双极结型热电晶体管发电器件。本发明制备得到的热电晶体管发电器,能够实现在室温条件下由温差所产生的Seebeck电压直接驱动热电晶体管正常工作,通过利用三极管的信号放大原理,可获得输出功率和热电转换效率的巨大提升,可用于任意温度任意温差条件下的热电发电,能够为不同类型用电器供电。
技术关键词
晶体管芯片 双极结型 液相外延技术 掩膜板技术 热电材料 衬底上生长薄膜 热电薄膜材料 沉积技术 半导体器件技术 热电转换效率 芯片封装技术 平面式结构 电极
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