摘要
本发明涉及热电转换、半导体器件技术领域,具体公开一种双极结型热电晶体管发电器件的制备方法。具体技术方案为:采用液相外延技术,以氢气、惰性气体或氢气和惰性气体的混合物作为保护气体,用掩膜板技术在衬底上隐蔽以及外延生长P型和N型热电薄膜,用物理沉积技术制备电极材料,最后制备出双极结型热电晶体管发电器件。本发明制备得到的热电晶体管发电器,能够实现在室温条件下由温差所产生的Seebeck电压直接驱动热电晶体管正常工作,通过利用三极管的信号放大原理,可获得输出功率和热电转换效率的巨大提升,可用于任意温度任意温差条件下的热电发电,能够为不同类型用电器供电。
技术关键词
晶体管芯片
双极结型
液相外延技术
掩膜板技术
热电材料
衬底上生长薄膜
热电薄膜材料
沉积技术
半导体器件技术
热电转换效率
芯片封装技术
平面式结构
电极