一种半导体功率器件动态反偏测试方法及系统

本发明涉及半导体功率器件测试的技术领域，特别是涉及一种半导体功率器件动态反偏测试方法及系统，其能够准确地评估器件在动态反偏条件下的性能，提高测试效率和准确性；方法包括：获取待检测半导体功率器件的多个电气特性数据，获得电气特性数据集合；将电气特性数据集合输入至动态反偏测试模型中，获得第一动态反偏测试结果；向待检测半导体功率器件发射快速变化的反向电压脉冲信号，获得反向电压脉冲信号经过待检测半导体功率器件后的输出信号；判断输出信号是否超过预设异常阈值；若否，则将第一动态反偏测试结果输出，作为半导体功率器件动态反偏测试结果；若是，则提取获得的异常输出信号，将异常输出信号输入至动态反偏失效分析模型中。