摘要
本发明涉及激光切割控制技术领域,本发明提供的一种新型的基板切割方法,本发明通过获取基板切割任务数据和设备数据,利用数字孪生模型生成实时待切割基板影像,并通过基板切割模拟模型进行模拟切割,与切割目标数据对比提升质量。若切割合格,则预测成本;若成本不符合目标,则优化模拟模型。对切割步骤进行聚类分析并优化,使用优化后的模型模拟筛选出最佳切割步骤。本发明有效提高了半导体基板切割的效率和良率,降低了制作成本,解决了现有技术中基板良率低导致成本增加的问题。
技术关键词
基板切割方法
模拟模型
基板切割设备
数据
数字孪生模型
切割控制技术
半导体基板
切割工具
影像
尺寸
参数
指标
遗传算法
精度
测量方法
染色体
标记
代表