一种曝光机投影镜头系统及高效率曝光机

本发明涉及曝光机技术领域，提供曝光机投影镜头系统，其包括：激光模块，用于发射光信号；DMD组件用于接受光信号并经过处理再反射到镜头装置；镜头装置用于对光信号进行投射；冷却液冷却组件安装于DMD组件，并用于对DMD组件降温；冷却液控制组件与冷却液冷却组件连接，用于控制冷却液冷却组件中冷却液的流速和/或温度，从而控制DMD组件温度在预设温度范围；本发明通过冷却液冷却组件与DMD组件直接接触；再经冷却液控制组件控制冷却液冷却组件中冷却液的流速，使DMD组件温度不超过30度，使DMD组件在冷却液直接作用的条件下快速降温，保证DMD组件不会因温度过高损坏，同时温度的降低也能使DMD组件能够承受150W及以上的激光功率，使曝光效果更好。