一种基于锂离子电极多涂层的太赫兹测厚方法及装置

本发明公开了一种基于锂离子电极多涂层的太赫兹测厚方法及装置，涉及太赫兹技术领域，该测厚装置包括：发射探头、接收探头和弧形滑轨，所述发射探头和所述接收探头设置在所述弧形滑轨上。本发明所述的一种基于锂离子电极多涂层的太赫兹测厚方法及装置，利用反射式太赫兹时域光谱检测系统，同时对待测量试样交界处进行测量，同时测量太赫兹波穿过空气、穿过被检测的涂层和涂层表面反射的回波信号，作为太赫兹时域光谱的参考信号可计算得出锂离子电极涂层和材料折射率，无需已知材料折射率，无需建立复杂的测厚算法，可同时测量材料厚度和折射率，检测方法简单，避免了由于多次测量进行回波信号提取时的位置不一致性带来的测量误差。