弹性波器件及其制造方法

本发明公开提供一种弹性波器件及其制造方法，弹性波器件包括支撑层所述支撑层形成有凹部；所述凹部的开口位于所述表面；所述覆盖层具有从其内表面突出的锚定部，所述锚定部进入所述支撑层的凹部。所述制造方法在晶片中的每个作为一个器件芯片的区域内，形成包含IDT电极的功能元件及布线；针对每个所述区域，形成支撑层，在所述支撑层上形成覆盖层，所述覆盖层气密密封所述功能元件，该方法可以在不增加WLP结构的弹性波器件制造中所需的掩膜数量和工艺步骤数量的情况下，适当地制造具有增强支撑层与屋顶层之间密合力的结构的弹性波器件。