一种红外探测器芯片表面自动清洗工装夹具、方法及装置

本申请涉及红外探测器制造工艺技术领域，公开了一种红外探测器芯片表面自动清洗工装夹具，包括：芯片承载盘，设置有芯片槽，用于放置芯片；芯片陶瓷框架片，用于固定芯片。应用本夹具，结合自动清洗设备提出了全自动清洗探测器芯片工艺，利用可调控的芯片盛放工装夹具，依次通过丙酮、兆声水及乙醇的冲洗以除去芯片表面的颗粒、残留胶及其他多余物，操作简单又节省时间，在保证清洗后探测器芯片表面洁净度的情况下，不仅降低了探测器芯片的损耗，同时提升了芯片清洗效率。