一种MEMS陀螺仪芯片中折叠梁的检测与尺寸的测量方法

本发明公开一种MEMS陀螺仪芯片中折叠梁的检测与尺寸的测量方法，包括以下步骤：S1:通过工业相机获取到待检测MEMS陀螺仪芯片的图像；S2:将所述图像输入到目标检测模型中，识别折叠梁区域；S3:通过图像处理技术对识别出的折叠梁区域进行处理；S4:获取折叠梁的轮廓，测量出折叠梁尺寸。采用锐化边缘的引入补偿函数的双边滤波算法来提升边缘特征信息，解决传统双边滤波算法保存结构边缘信息不足问题，通过峰值信噪比得出，本发明的算法在滤波效果上是较为优秀的；在直线检测方面，针对霍夫直线检测算法出现的多直线、效率低，提出基于MEMS几何性的多直线快速霍夫检测，多直线的问题有较为明显的改善，同时会缩短霍夫直线检测的时间。