一种应用于研磨机台的晶圆上下料装置

本发明属于晶圆上下料技术领域，具体的说是一种应用于研磨机台的晶圆上下料装置，包括工作台，所述工作台的内部开设有第一腔体，所述第一腔体的中部固接有底板，所述工作台的一侧滑动连接有若干个固定箱，所述固定箱用于存放晶圆圆片，所述第一腔体内设置有机械臂，每两个所述支撑板之间均转动连接有固定轴，每两个所述固定轴之间均转动连接有传送带，若干个所述传送带用于对晶圆圆片的传送，通过设置喷涂件和转动辊，解决了在对晶圆圆片进行转运的过程中，传送带会与晶圆发生一定的相对摩擦，导致晶圆的表面产生划痕，划痕会在晶圆表面形成微小的凹坑或线条，导致晶圆表面的平整度下降，因此产生晶圆圆片成品率和质量降低的问题。