基于差分灰度图异常检测的芯片缺陷检测方法

本发明公开了基于差分灰度图异常检测的芯片缺陷检测方法，包括步骤1、构建芯片异常检测模型；步骤2、获得灰度差分底图；步骤3、获取差分图正向样本训练集；步骤4、模型训练；步骤5、获得待检测灰度差分图；步骤6、芯片异常检测：将待检测灰度差分图，输入训练后的芯片异常检测模型中，得到待检测芯片的热力图及缺陷位置。本发明使用芯片差分灰度图进行深度学习异常检测，从而解决色差、焊脚、随机纹理等芯片本身存在的非缺陷误差导致传统灰度差分检测方法误检的问题。另外，本发明同时排除了芯片本身具有的复杂特征对异常检测模型的干扰，提升了异常检测模型对芯片缺陷的检测能力。