键合设备、键合方法及存储介质

本发明提供了键合设备、键合方法及存储介质。所述键合设备包括键合机台、检测机台、机械手及控制器。所述键合机台用于根据键合参数进行晶圆与待键合件的键合。所述检测机台用于检测所述键合样品中晶圆与待键合件的键合偏差。所述机械手至少用于将所述键合样品传输到所述检测机台。所述控制器被配置为：控制键合机台，根据当前的键合参数进行第一晶圆与第一待键合件的键合，以制备第一键合样品；响应于完成第一键合样品的制备，控制机械手将第一键合样品传输到检测机台，以确定其第一键合偏差；根据第一键合偏差，在线调整键合参数，并将其实时反馈到键合机台；以及控制键合机台，根据在线调整的键合参数进行之后的第二键合样品的制备。