半导体设备、用于控制半导体设备的方法和控制程序

本公开涉及半导体设备、用于控制半导体设备的方法和控制程序。根据本公开的半导体设备包括：比较器电路；计数器电路；以及锁存电路，该锁存电路在比较器电路的输出信号改变的时刻存储计数器电路的计数值，计数器电路包括：多相信号发生器；以及多个触发器电路，该多个触发器电路包括第一级触发器和第二级触发器及后续触发器，第一级触发器接收末级中的触发器的输出信号的反相信号，并且第二级触发器及后续触发器中的每一者与多个时钟信号中的每一者同步地接收前级中的触发器的输出信号，并且多个触发器电路中的每一者的输出信号被输出作为计数值的计数信号。