摘要
本发明提供一种多通道单频VCSEL芯片测试底座,涉及激光器芯片测试技术领域,包括底板,所述底板顶部中心处设有放置组件,所述放置组件包括加热底座,所述加热底座顶部固定有TEC制冷片,所述TEC制冷片内部设置有导热座,所述底板位于放置组件的两侧设有托板,且导热座和一侧托板上均设有测试座,所述测试座表面上等距开设有多个放置槽,相对于现有技术,通过测试座能够一次装载多枚VCSEL芯片,所有测量完成后再进行一次性装载,可大幅提高测量效率,针对VCSEL芯片的电流-温度-波长工作点测试,能够提供室温可调节的控温范围,通过升降组件和托板的配合,便于两组测试座切换使用,提高测试效率。
技术关键词
测试底座
测试座
加热底座
多通道
导热座
移动滑轨
VCSEL芯片
TEC制冷片
探针座
升降组件
托板
双向丝杆
检测组件
底板
伸缩柱
支撑杆
陶瓷加热片
激光器芯片