一种MEMS氢气传感器及其温度补偿方法

本发明涉及氢气传感器技术领域，公开了一种MEMS氢气传感器及其温度补偿方法，MEMS氢气传感器包括基底，基底上设置有敏感膜、电极、控制器模块、第一温度检测模块和第一湿度检测模块，第一温度检测模块和第一湿度检测模块将检测的气体温度和气体湿度传递给控制器模块，控制器模块中存储有第一数学模型以及第二数学模型，将第一温度检测模块和第一湿度检测模块检测到的温度和湿度代入第一数学模型，求出补偿后的灵敏度，将补偿后的灵敏度代入第二数学模型，计算出修正后的氢气浓度值；本发明同时考虑到温度和湿度对传感器灵敏度的影响，提高了MEMS氢气传感器在复杂环境下检测结果的准确性和稳定性。