摘要
本发明公开了一种硬质涂层及其制备方法、柔轮及其应用,涉及涂层材料技术领域。本发明的硬质涂层设置于基材上,包括依次设置的内层和外层;所述内层的成分包括金属元素,所述外层的成分包括碳掺杂二硫化钼;所述内层靠近基材的表面。本发明的硬质涂层具有优异的减摩耐磨效果,该硬质涂层不仅可以使得基材在镀膜工艺前后具有极佳的尺寸稳定性,而且与基材具有良好的结合力,在实际工作中不易脱落,应用于柔轮中可以有效降低柔轮的磨损率,使得谐波减速机产品具有长寿命、低磨损、高精度保持性等优点。
技术关键词
硬质涂层
谐波减速机
柔轮
二硫化钼靶材
工业机器人关节
基材
涂层材料技术
碳掺杂
石墨靶材
金属靶材
镀膜工艺
长寿命
电流
结合力
脉冲
元素
纳米
负荷
尺寸