一种半导体芯片制造用高纯化学品的供给输送装置

本发明属于半导体制造技术领域，且公开了一种半导体芯片制造用高纯化学品的供给输送装置，包括中通管和位于中通管外侧的三组储液罐，三组所述储液罐的底端分别安装有连通管一、连通管二和连通管三，并均安装有化学品输送泵，还包括位于中通管下方的多组支架，所述支架的顶部固定安装有排水管，多组所述排水管的一端固定安装有密封筒三。本装置用于接收化学品，在其外表面密封套设有一组密封筒一，密封筒一的外表面开设有多组进液口，并分别连接连通管一、连通管二和连通管三，与多组储液罐对应，通过转动中通管带动重合口二分别与三组进液口重合或交错，以实现与连通管一或连通管二或连通管三的连通，从而实现了一管多用的高效性功能。