一种基于神经网络的芯片缺陷检测方法及系统

本发明公开了一种基于神经网络的芯片缺陷检测方法及系统，包括采用高清拍摄设备对生产线上的芯片进行拍摄，获取芯片实时图片数据。本发明采用是图像采集识别技术，先通过对采集到的图像进行降噪处理，使得数据处在同一个标准中，具备参考性以及可研究，通过大量的历史图像数据利用神经网络模型构建符合要求的缺陷特征匹配模型，由于缺陷的类型也是不同的，分为多种程度，比如有的外观缺陷深度较大，有的是长度较大，还有的是宽度较大等等，将实时图像数据输入至缺陷特征匹配模型中，获取匹配值，摆脱了现有技术中依靠专业人员经验定性检查芯片缺陷的传统模式，为批量检测芯片缺陷提供了有力的技术支持。