一种用于海水深度测量的薄膜压力传感器及其制备方法

本发明公开了一种用于海水深度测量的薄膜压力传感器及其制备方法，薄膜压力传感器包括弹性元件，所述弹性元件上依次设有绝缘膜层、功能膜层、保护膜层以及电极膜层；所述弹性元件背腔中部设有凸岛，所述弹性元件背腔的周侧设有倒角；所述功能膜层包括测压的应变电阻、测温电阻和灵敏度温度补偿电阻。本发明通过弹性元件材料选型、凸岛结构设计、温度补偿等方法，提升耐腐蚀性能、提高灵敏度、降低非线性，提高精度、降低温漂、满足深海长时间测量的使用要求。