一种晶棒质量的智能预警方法及系统

本发明涉及数据处理技术领域，尤其涉及一种晶棒质量的智能预警方法及系统。方法包括步骤：获取晶棒的温度数据序列中各温度数据点的预设周围数据段；计算温度数据点的滤波必要性；通过温度数据序列与对应的流量数据序列之间的偏差对滤波必要性进行校正，得到温度数据点的滤波可能性；通过温度数据点的滤波可能性与预设阈值的比较结果得到待滤波的温度数据点；将温度数据序列中待滤波的温度数据点进行滤波去噪，通过ARIMA模型处理滤波去噪后得到的目标温度数据序列，以实现晶棒质量的预警，有效地提高了晶棒质量预警的准确性。