光电子能谱分析方法和装置、电子设备、存储介质

本申请实施例提供了一种光电子能谱分析方法和装置、电子设备、存储介质，属于表面材料检测技术领域。该方法包括：对目标样品进行光电子能谱检测，获取初始光电子能谱；根据初始光电子能谱进行能谱数据点选取，得到光电子能谱数据点序列；根据期望最大化算法和光电子能谱数据点序列更新预设的初始光电子能谱模型，得到所有的光电子峰组成的第一光电子能谱拟合模型；获取目标样品的目标量子效应约束；根据中心化场近似下的量子效应约束，更新所有的第一光电子峰，得到第二光电子能谱拟合模型；根据第二光电子能谱中光电子峰的伴峰能量比例进行伴峰修正拟合，得到完整的目标光电子能谱。本申请实施例能够提高光电子能谱解析的准确性。