一种含铜膜声表面波滤波器芯片及其制备方法与滤波器

本发明公开了一种含铜膜声表面波滤波器芯片及其制备方法与滤波器，制备方法的步骤如下：在基底层上进行匀胶、光刻和显影作业；在基底层上蒸镀上含铜膜层的电极层，然后进行剥离作业，以将基底层上表面的电极层图形化；在基底层上再次进行匀胶、光刻和显影作业，以将电极层分为裸露的非电极区和两个由第二光刻胶层覆盖保护的电极区；在基底层上溅射作业，然后进行剥离作业，以将电极区裸露，同时在非电极区形成第一保护层；在基底层上再次进行匀胶、光刻和显影作业，以将非电极区由第三光刻胶层覆盖保护；在电极区先后蒸镀第二保护层，然后对非电极区进行剥离作业；在第二保护层的上端焊接硅铝丝即可；该制备方法的加工流程简便，且加工精度高。