一种基于矩形波导SSPP模式切换的太赫兹移相器

本发明属于电磁功能器件技术领域，公开了一种基于矩形波导SSPP模式切换的太赫兹移相器，包括输入矩形波导、周期性矩形波导结构、二极管调控微结构芯片、非调控微结构芯片、输出矩形波导；输入矩形波导起到输入太赫兹波的作用，与周期性矩形波导结构的一端连接；周期性矩形波导结构一部分为直通矩形波导，另一部分为周期排列的微开口矩形腔，二极管调控微结构芯片包括芯片基板、接地金属块、不接地金属块、高阻抗馈电线、低阻抗馈电金属块、二极管；非调控微结构芯片包括非调控芯片基板、非调控接地金属块、非调控不接地金属块；二极管调控微结构芯片与非调控微结构芯片分别嵌入在直通矩形波导两个长边上呈现对称分布的两个微开口矩形腔中。