摘要
本公开提供一种半导体封装贴片机及其精度检验方法,涉及半导体封装技术领域,其中,检验方法包括第一定位模组定位芯片的第一面,获取第一面的第一位置信息,并保存第一位置信息;贴装头根据第一位置信息拾取芯片;第二定位模组定位芯片的第二面,获取第二面的第二位置信息,并保存第二位置信息;半导体封装贴片机根据第二位置信息贴装芯片;第一定位模组测量芯片的第一面的实际贴装位置;计算第二面的实际贴装位置和理论贴装位置;根据第二面的实际贴装位置和理论贴装位置计算芯片贴装偏差。本公开提供的检验方法在贴装后即可检验出贴装的精度,有利于及时调整半导体封装贴片机从而减小后续贴装偏差,进而有利于提升生产良率。
技术关键词
精度检验方法
贴装位置
定位模组
贴片机
芯片
贴片位置坐标
贴装头
切割误差
玻璃基板
偏差
半导体封装技术
理论
标记
校准
数据
良率