半导体封装贴片机及其精度检验方法

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半导体封装贴片机及其精度检验方法
申请号:CN202411530003
申请日期:2024-10-30
公开号:CN119480701A
公开日期:2025-02-18
类型:发明专利
摘要
本公开提供一种半导体封装贴片机及其精度检验方法,涉及半导体封装技术领域,其中,检验方法包括第一定位模组定位芯片的第一面,获取第一面的第一位置信息,并保存第一位置信息;贴装头根据第一位置信息拾取芯片;第二定位模组定位芯片的第二面,获取第二面的第二位置信息,并保存第二位置信息;半导体封装贴片机根据第二位置信息贴装芯片;第一定位模组测量芯片的第一面的实际贴装位置;计算第二面的实际贴装位置和理论贴装位置;根据第二面的实际贴装位置和理论贴装位置计算芯片贴装偏差。本公开提供的检验方法在贴装后即可检验出贴装的精度,有利于及时调整半导体封装贴片机从而减小后续贴装偏差,进而有利于提升生产良率。
技术关键词
精度检验方法 贴装位置 定位模组 贴片机 芯片 贴片位置坐标 贴装头 切割误差 玻璃基板 偏差 半导体封装技术 理论 标记 校准 数据 良率
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