抛光垫修整方法、装置、设备、控制器及存储介质

本发明涉及抛光垫修整方法、装置、设备、控制器及存储介质，该修整方法在初次修整周期内对抛光垫进行修整时采用初始修整配方，在后续修整周期内进行修整时采用经自学习调整方法调整的修整配方。本发明通过抛光垫修整方法对抛光垫实现可控修整，根据抛光垫的磨损状态调整修整参数，优化修整参数，延长抛光垫的使用寿命，降低抛光垫的更换频率和成本。