贴片式压电驱动二自由度机械臂及其驱动方法

本发明提供了一种贴片式压电驱动二自由度机械臂及其驱动方法，机械臂包含若干个依次相连的单元臂节和臂节之间的连接组件；工作时，对单元臂节上的压电振子施加具π/2相位差的驱动信号，使其与相邻压电振子接触的各点产生微幅椭圆运动，经过摩擦作用产生驱动力，可分别实现单元臂节绕与之相邻单元臂节压电振子的转动和单元臂节绕自身压电振子轴线的转动，且由于单元臂节和其相邻单元臂节在空间上正交，进而能够实现两臂节在两个正交平面内的二自由度转动。本发明易于密封以及实现微型化，不受电磁干扰，能断电自锁，无需进行不同相模态的模态耦合频率一致性调节，减少了对机械臂设计尺寸形状等的限制。