芯片封装结构及芯片封装方法

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芯片封装结构及芯片封装方法
申请号:CN202411545417
申请日期:2024-10-31
公开号:CN119447049A
公开日期:2025-02-14
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种芯片封装结构及芯片封装方法,采用聚合物键合的方式形成空腔,再通过在键合面增加环形金属围堰以及侧壁金属封堵的方式,降低成本的同时又提高了空腔的气密性,且能达到和金属键合一样的可靠性标准。
技术关键词
芯片模组 芯片封装结构 键合区 芯片封装方法 围堰 聚合物 基底 导电结构 环形 基板 空腔 电路 胶水
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