一种固态微波源等离子体光源调制方法和系统

本发明公开了一种固态微波源等离子体光源调制方法和系统，利用固态微波源容易低压控制的优势，以工作频率为中心，向两边展宽一定宽度的频谱范围，在微波光源发光时，实际工作频率的频点，在此中心频点展宽的频谱范围内，以一定的周期产生高频振荡，使频率点不断改变；在微波等离子体光源的启动阶段，在频谱展宽的情况下，使用连续波工作模式。在稳定弧光放电阶段，达到热平衡时，在频谱展宽的同时叠加上具有一定占空比的脉冲功率调制波形，通过改变占空比和调制频率，实现同等输入电功率的条件下，降低电磁辐射和提高微波光源发光效率。