光源掩膜协同优化IRO模型的确定方法、装置及设备

本申请提供了一种光源掩膜协同优化IRO模型的确定方法、装置及设备，通过将预获取的测试图形输入至初始IRO模型中，得到初始设计版图对应的初始光源，测试图形包括初始设计版图中的关键图形；根据初始光源，使用目标光刻胶对测试掩膜版进行光刻，得到实际曝光能量矩阵FEM数据和位于测试掩膜版关键位置处的目标光刻胶的实际截面数据，测试掩膜版根据测试图形确定；根据实际FEM数据和实际截面数据，确定光刻胶模型，对初始IRO模型进行优化，得到目标IRO模型。本申请实施例能够提高IRO模型的优化准确性。