用于设计工艺因素的方法、系统及制造该系统的方法

公开了用于设计工艺因素的方法、系统及制造该系统的方法。根据本公开的用于设计工艺因素的系统包括：第一生成装置，被配置为使用对质量预测模型的决策边界进行估计并且基于估计的决策边界生成工艺因素的第一生成模型生成多个第一工艺因素；第二生成装置，被配置为使用基于深度学习的第二生成模型生成多个第二工艺因素；以及确定装置，被配置为根据使用质量预测模型评估多个第一工艺因素和多个第二工艺因素的结果在第一生成模型和第二生成模型中确定第三生成模型，并且使用第三生成模型自动地生成应用于生产工艺的至少一个工艺因素。质量预测模型是接收生产工艺的工艺因素作为输入数据并且基于输入数据预测质量数据的人工神经网络模型。