摘要
本发明涉及芯片制造领域,提出了一种用于实现半导体存储芯片的制备方法及系统,所述方法包括:首先获取芯片参数择定半导体材料并预处理,确定待沉积区域后沉积绝缘层和导电层构建多层结构框架,进而确定各层最佳厚度和布局并计算读写预期值,接着依据读写预期值确定性能指标,评估制备可行性得到制备评估数据,查询影响因素计算影响程度值,然后根据影响程度值配置封装材料构建固化环境,监测固化进程状态并对异常溯源,最后分析异常源集中的目标,识别异常存储因子,基于此监测反馈数据生成芯片制备方案。本发明可以提升半导体存储芯片的制备稳定性。
技术关键词
半导体存储芯片
半导体材料
封装材料
进程
布局
多层结构
信号传输延迟
互连线
参数
因子
分布特征
导电层
框架
存储单元
位点
上沉积
数据分类