一种用于实现半导体存储芯片的制备方法及系统

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一种用于实现半导体存储芯片的制备方法及系统
申请号:CN202411551999
申请日期:2024-11-01
公开号:CN119067055B
公开日期:2025-02-07
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片制造领域,提出了一种用于实现半导体存储芯片的制备方法及系统,所述方法包括:首先获取芯片参数择定半导体材料并预处理,确定待沉积区域后沉积绝缘层和导电层构建多层结构框架,进而确定各层最佳厚度和布局并计算读写预期值,接着依据读写预期值确定性能指标,评估制备可行性得到制备评估数据,查询影响因素计算影响程度值,然后根据影响程度值配置封装材料构建固化环境,监测固化进程状态并对异常溯源,最后分析异常源集中的目标,识别异常存储因子,基于此监测反馈数据生成芯片制备方案。本发明可以提升半导体存储芯片的制备稳定性。
技术关键词
半导体存储芯片 半导体材料 封装材料 进程 布局 多层结构 信号传输延迟 互连线 参数 因子 分布特征 导电层 框架 存储单元 位点 上沉积 数据分类
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