温度自感知光子芯片、其温度传感装置及信号解调方法

本发明公开了一种光纤温度传感装置及信号解调方法，通过阵列波导光栅将入射光进行一级分光，分成多个波段的光分别入射多根传感光纤内，单个波段的入射光经过依次布置的多个温感结构进行二级分光，分成多个子波段的光，获得包含分别对应多根光纤上温感结构形成的阵列的温感信号，从而实现微小区间的温度分布传感。本发明还公开了一种温度自感知光子芯片，在芯片本体上设置光纤温度传感装置，结构紧凑，体积小巧，功耗低。同时，通过光纤温度传感装置实现对芯片温度的实时监测和标定，方便对集成光子芯片温度造成影响的修正。