基于热反馈和数字功率分配的微流量传感芯片及控制方法

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基于热反馈和数字功率分配的微流量传感芯片及控制方法
申请号:CN202411559919
申请日期:2024-11-04
公开号:CN119437346A
公开日期:2025-02-14
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于热反馈和数字功率分配的微流量传感芯片及控制方法,芯片包括设置于衬底上的微带线组件及接口电路,接口电路包括放大器、比较器、控制器及反相器;第一定值电阻与第四热敏电阻之间的连接点、第二定值电阻与第一热敏电阻之间的连接点分别连接放大器的两个输入端;第一定值电阻与第二定值电阻的连接端连接稳压电源;放大器的输出端连接比较器的正极输入端;比较器的输出端连接控制器的一个连接端;控制器的另一连接端连接反相器的输入端及第二热敏电阻的一端;反相器的输出端连接第三热敏电阻的一端。上述流量传感微系统将流量传感芯片与热反馈模式的专属接口电路相连接,增强了集成传感微系统信号稳定性并克服了固有温漂问题。
技术关键词
热敏电阻 传感芯片 微带线 反相器 微加热器 放大器 功率 介电薄膜 控制信号占空比 稳压电源 控制器 微系统 衬底上制作 检测器 输出端 集成传感 输入端
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