一种脉冲激光加工的实时原位监测成像方法

本发明涉及激光微纳加工技术领域，公开了一种脉冲激光加工的实时原位监测成像方法，包括以下步骤：a.使用高速全息单曝光压缩成像系统和高速视频单曝光压缩成像系统对加工飞秒激光进行实时监测；b.通过分光棱镜对激光进行分光，将激光导向样品表面进行三维形貌微纳加工；c.利用数字微镜器件(DMD)对样品表面的图像信息进行快速编码。本发明提供的脉冲激光加工的实时原位监测成像方法能同时获取加工材料的高速二维图像与高速三维形貌信息，采用低成本方式实现超快成像，可对飞秒激光加工实时成像、原位监测样品，成像系统独立且能将低帧率图像重建为高帧率动态视频并节省存储空间。