摘要
本发明及玻璃基板领域的一种玻璃基板表面粗糙化的方法,通过将冲洗后的玻璃基板浸泡于第一浸泡KOH溶液池中进行预粗糙化处理,可初步调整玻璃基板表面的粗糙度,使其更易于接受后续的二次粗糙化处理,将第一次浸泡粗糙化的玻璃基板放置入第二浸泡KOH溶液池内进行二次粗糙化处理,并采用超声波发生器对第二浸泡KOH溶液池中的KOH溶液进行均匀扩散处理,同时,通过搅拌装置对KOH溶液进行搅拌,使第二浸泡KOH溶液池中的KOH溶液可对玻璃基板进行均匀的刻蚀,提高对玻璃基板粗糙化的刻蚀效率和质量,以及通过实时监测第二浸泡KOH溶液池的KOH溶液中空化气泡尺寸分布和硅离子浓度以调整超声波发生器,优化处理过程,增强粗糙化的效率和质量。
技术关键词
玻璃基板
超声波发生器
溶液
纳米二氧化硅颗粒
高速摄像系统
粗糙化方法
热风干燥装置
图像分析算法
微型搅拌器
原子力显微镜
提升装置
光谱分析仪
离子
粗糙度
气泡
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pH计
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