一种基于巨磁阻传感器的NO2气体检测装置及其制备方法

本发明公开一种基于巨磁阻传感器的NO2气体检测装置及其制备方法，涉及磁传感器技术领域，包括：测试室，具有进气口和出气口，测试室上下表面分别安装永磁体；巨磁阻芯片设置于测试室内，永磁体形成的磁场方向垂直穿过巨磁阻芯片；巨磁阻芯片表面设置有MOFs薄膜。本发明利用NO2气体固有的顺磁性特征，借助巨磁阻传感器可实现对NO2气体的高选择性检测；巨磁阻传感器与气体敏感材料MOFs相结合，可大幅度提高其对NO2的灵敏度响应；采用MEMS技术，实现了整个检测装置的微型化；每个传感器可单独工作，也可以串联或并联成传感阵列，进一步提高其对NO2气体的灵敏性与选择性；整个传感器结构简单，易于集成，具有良好的应用前景和广泛的适用范围。