晶圆寻边方法和装置

本发明公开了一种晶圆寻边方法和装置，该方法包括：采集晶圆的边缘图像，晶圆载置于chuck台，chuck台能沿X、Y和θ轴移动；从边缘图像获得圆弧特征点和缺口特征点；对圆弧特征点进行圆拟合以获得第一经拟合圆；基于第一经拟合圆和第一预设阈值识别并筛除圆弧特征点中的异常点；对剩余圆弧特征点再次进行圆拟合以获得第二经拟合圆；基于第二经拟合圆和第二预设阈值识别并筛除剩余圆弧特征点中的异常点以获得经筛选圆弧特征点；基于经筛选圆弧特征点确定晶圆的圆心偏差；使chuck台沿X、Y和θ轴中的一者或多者移动以对圆心偏差进行圆心补偿，在此期间晶圆和chuck台分离；基于缺口特征点确定晶圆的角度偏差；使chuck台围绕chuck台圆心旋转以对角度偏差进行旋转补偿。