一种采用石墨烯材料制备MEMS芯片的方法及石墨烯MEMS芯片

本发明涉及微机电系统制造技术领域，具体提供了一种采用石墨烯材料制备MEMS芯片的方法及石墨烯MEMS芯片，所述方法包括：步骤一，离子注入；步骤二，制备氧化层；步骤三，制备器件层；步骤四，制备牺牲层；步骤五，图形化；步骤六，制备石墨烯地电极；步骤七，释放牺牲层；步骤八，制备压电膜层；步骤九，制备石墨烯上电极；所述石墨烯MEMS芯片包括单晶硅衬底、氧化层、器件层、石墨烯地电极、压电膜层、石墨烯上电极；本发明采用石墨烯材料制备MEMS芯片，石墨烯材料在导电、导热、稳定性、生物兼容性等方面具有优异的性能，与金等传感器常用材料相比，在微纳制造、传感器、新能源等领域有着更为广阔的应用前景。