一种光电探测器件的片上集成信号处理方法

本发明涉及一种光电探测器件的片上集成信号处理方法，属于光电探测器技术领域。该方法将光电探测器件与相应信号处理电路进行片上集成，将光电探测器件的光生电流转换为电压信号，并进行电压放大、低延迟与低输出漏电等信号处理，最终输出满足幅度要求的电压或数字信号，从而实现电流信号的片上实时低延迟处理和快数据速率输出。本发明结合光电探测器件和信号处理电路的优势实现单片集成和工艺技术融合，可有效提升处理速率和可靠性，降低元件间寄生效应，实现分立器件板级互连方案的功能替代；此外，本发明具有电流转换电压与放大、低延迟、低输出漏电、快输出速率、易于片上集成等特点，适用于小型化、高集成、低成本的光电探测芯片或应用系统。