摘要
本发明为原位透射电子显微镜观测纳米多孔金属间化合物形成的方法,首先制备前驱体合金,再利用聚焦离子束技术(FIB)将微观前驱体样品转移至TEM原位加热芯片上用于原位TEM测试;在TEM环境氛围下将加热芯片加热至一定温度并保温,从而观测气相脱合金法生成纳米多孔金属间化合物的形成过程。本发明的观测方法是在原位条件下,纳米多孔金属间化合物的形成过程,可实现高温、高稳定性以及高分辨率的原位TEM观测,操作简便,观测效果优异,对于推动以及扩大纳米多孔金属材料的研究以及应用都具有重要的价值。
技术关键词
原位加热芯片
样品台
TEM样品杆
聚焦离子束技术
透射电子显微镜
电子束
纳米多孔金属材料
脱合金法
纳米多孔材料
观测方法
气相
凹坑
聚光镜